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可靠性測試設備在芯片生產(chǎn)中的應用

 更新時間:2022-11-07 點擊量:763

從近幾年國產(chǎn)半導體設備發(fā)展的情況來看,在國產(chǎn)設備企業(yè)在政策和資金大力支持下,國內(nèi)半導體設備廠商得以在刻蝕、薄膜沉積、測試等多個領域不斷取得突破——根據(jù)德邦證券的調(diào)研報告顯示,中微公司和北方華創(chuàng)分別在CCP和ICP刻蝕設備領域取得突破,部分產(chǎn)品已進入先進制程生產(chǎn)線驗證;北方華創(chuàng)在PVD領域?qū)崿F(xiàn)了國產(chǎn)高*薄膜制備設備零的突破,設備覆蓋了90-14nm多個制程,沈陽拓荊CVD設備成功進入長江存儲生產(chǎn)線。華峰測控模擬測試機國內(nèi)*占率已達60%,后續(xù)SOC項目推進可能為公司帶來新的增長空間。

 

但除了這些廣為被業(yè)界所知的半導體設備以外,可靠性測試設備也是半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展中的重要環(huán)節(jié)。據(jù)了解,可靠性測試設備能夠模擬環(huán)境并通過檢測確保產(chǎn)品達到在研發(fā)、設計、制造中預期的質(zhì)量目標。而這種檢測方式一方面可以保障企業(yè)產(chǎn)品品質(zhì),同時也能夠提升企業(yè)產(chǎn)品在市場中的競爭力。

 

其中,半導體溫度測試系統(tǒng)也是環(huán)境可靠性測試中的重要一環(huán),相關媒體報道稱,半導體溫度測試系統(tǒng)對于國內(nèi)提供相關設備的企業(yè)來說,有較大的業(yè)務增長點,待建廠完畢后,相應的IC設計、晶圓制造及加工、封測等相關企業(yè)開始運轉(zhuǎn),半導體溫度測試系統(tǒng)也將迎來新的需求增長。

 

具體來看,從電子工程專輯此前的報道中顯示,在晶圓測試中所涉及的溫度測試,目前主要有三種應用:


1.根據(jù)Arrhenius的方程原理,半導體行業(yè)認識到溫度可以用來估計設備的壽命,因此,用溫度測試來確定高溫工作壽命(HTOL:High-temperature Operating Life)。

 

2.有特定用途的設備,如應用于空間、戶外和汽車,需要承受更惡劣的環(huán)境和廣泛的溫度范圍。例如,所有的汽車芯片通常需要在-40℃到+150℃的范圍內(nèi)進行測試。

 

3.高壓芯片(例如高性能微處理器)的電子測試和大規(guī)模并行測試(DRAM和NAND芯片)是業(yè)界*的挑戰(zhàn),需要迅速有效的冷卻以避免燒壞芯片。

 

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